[发明专利]纳米陶瓷涂层EBSD表征试样及其制备方法、检测方法在审
| 申请号： | 202111568677.1 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114235867A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 况敏;张吉阜;毛杰;张小锋;石倩;牛少鹏;刘桦;王昊;张东东;宋琛 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005;G01N23/203 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 宋南 |
| 地址： | 510650 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米陶瓷涂层EBSD表征试样及其制备方法、检测方法。通过采用导电薄膜对纳米陶瓷涂层试样的表面整体包覆，并在纳米陶瓷涂层试样外部设置导电抽头，再对包覆了导电薄膜的纳米陶瓷涂层试样进行镶嵌、研磨和抛光得到纳米陶瓷涂层EBSD表征试样。该纳米陶瓷涂层EBSD表征试样通过导电薄膜将采集时的电荷积累导走，在EBSD扫描时直接采集纳米陶瓷涂层信号，完成纳米陶瓷涂层的EBSD微观晶体结构表征。有效规避传统制样方法在EBSD检测表面层喷碳，因碳膜厚度无法精确控制导致EBSD无法采集的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 陶瓷 涂层 ebsd 表征 试样 及其 制备 方法 检测 | ||
【主权项】：
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