[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法

摘要

本发明公开了一种背照式图像传感器，包括半导体衬底，所述半导体衬底具有正表面和背表面；设于所述半导体衬底内的浅隔离槽和感光单元；设于所述半导体衬底内的深隔离槽；覆盖所述半导体衬底的正表面的第一介质层，所述第一介质层包括金属互连结构；覆盖所述半导体衬底的背表面的第二介质层，所述第二介质层包括金属栅格和导通结构，所述导通结构的一端与金属栅格导通，另一端与焊盘结构导通；焊盘结构，贯穿所述半导体衬底和所述第二介质层，且与所述金属互连结构连通。该背照式图像传感器的工艺步骤相比现有结构能够减少光罩版的使用，同时能实现金属栅格电势调节，减少工艺步骤，节约成本及改善图像传感器性能。