[发明专利]一种PPM电容器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111561856.2 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114335342A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 汤志林;王卉;付永琴;曹子贵 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02;H01L27/01;H01L27/108 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种PPM电容器及其制备方法，包括：衬底，所述衬底上形成有支撑层；PIP电容结构，包括第一极板、第一介电层及第二极板，所述第一极板位于所述衬底上并包裹所述支撑层以使所述第一极板呈凸字形，所述第一介电层及所述第二极板依次位于所述第一极板的凸顶面上；第二介电层，位于所述第二极板上且覆盖所述第二极板的部分顶面；第三极板，位于所述第二介电层上。通过增加所述第三极板，使所述第三极板与所述第二极板形成的电容与所述PIP电容结构并联，在不增加电容器尺寸的前提下增加所述电容器的电容值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ppm 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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