[发明专利]一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法有效
| 申请号： | 202111519658.X | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114507529B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王维;潘春林;李自杰;林秋玉 | 申请（专利权）人： | 福建中安高新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李珊珊 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼区软*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法。所述ITO蚀刻液包括以下重量份数的各组分：20‑22份的盐酸，6‑7份的硝酸，0.5‑3份的酸抑制剂，0.5‑3份的表面活性剂，以及水；其中，所述酸抑制剂包括N,N‑二异丙基乙胺、N,N‑二异丙基乙醇胺中的至少一种；所述表面活性剂包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一种。本申请提供的ITO蚀刻液，其可控性强、蚀刻角度平滑、精度高，能在短时间内完成材料的蚀刻，蚀刻后材料的关键尺寸损失小于0.4μm，蚀刻角度小于35.5°，蚀刻洁净度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建中安高新材料研究院有限公司，未经福建中安高新材料研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111519658.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硫酸系ITO蚀刻液及其制备、应用方法
- 下一篇：锁头升降装置
