[发明专利]一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统在审
| 申请号： | 202111490341.8 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114192059A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 朱俭;李兰;王振;龚春东 | 申请（专利权）人： | 理纯（上海）洁净技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F35/71 | 分类号： | B01F35/71;B01D19/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 焦海峰 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统，具备试剂供给机构，设置有多个，试剂混合机构，与多个试剂供给机构均连接；定量配给机构，设置有多个，多个定量配给机构一对一的连接在每一个试剂供给机构与试剂混合机构的连接管路上，定量配给机构包括过量抽取部件、余量排出部件以及定量输出部件；发明利用过量抽取部件从试剂供给机构内抽取大于试剂配比量的化学试剂，通过余量排出单元通过注射器排气泡的原理将过量抽取部件内的部分化学试剂连通混入的空气一起排出以获得固定量的不含空气的化学试剂，再通过定量输出部件用固定量的化学试剂输送至试剂混合机构内进行混液，保证了混液结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 排气 半导体 化学试剂 混合 输送 系统 | ||
【主权项】：
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