[发明专利]一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统

说明书

本发明公开一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统，具备试剂供给机构，设置有多个，试剂混合机构，与多个试剂供给机构均连接；定量配给机构，设置有多个，多个定量配给机构一对一的连接在每一个试剂供给机构与试剂混合机构的连接管路上，定量配给机构包括过量抽取部件、余量排出部件以及定量输出部件；发明利用过量抽取部件从试剂供给机构内抽取大于试剂配比量的化学试剂，通过余量排出单元通过注射器排气泡的原理将过量抽取部件内的部分化学试剂连通混入的空气一起排出以获得固定量的不含空气的化学试剂，再通过定量输出部件用固定量的化学试剂输送至试剂混合机构内进行混液，保证了混液结果的准确性。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统。

背景技术

半导体行业需要用到很多的化学溶液,大多属于强酸、强碱或强腐蚀性的溶液。出于安全和生产的需求,往往采用供液系统进行药液的输送或混合后再输送。尤其使用的药液是混合溶液时,需要将多种药液从药液桶或储液桶等中抽取出来送入混合液储存槽中进行药液混合。

然而在实际操作中，当药液桶中液位较低时,各路药液有可能会在抽取药液的过程中吸入空气,使得混液结果不准确,从而导致生产工艺出错。有时为了防止液位较低吸入空气,往往在液位较高时就需更换新药液桶,造成药液的浪费,增加成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统，以解决现有技术中药液混合过程中由于空气进入导致混液结构不准确的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：

一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统，具备：

试剂供给机构，设置有多个，每个所述试剂供给机构用于提供一种化学试剂；

试剂混合机构，与多个所述试剂供给机构均连接，所述试剂混合机构用于接收自所述试剂供给机构提供的化学试剂并加以混合；

定量配给机构，设置有多个，多个所述定量配给机构一对一的连接在每一个所述试剂供给机构与所述试剂混合机构的连接管路上，所述定量配给机构用于将所述试剂供给机构内的化学试剂定量输送至所述试剂混合机构内；

其中，所述定量配给机构包括过量抽取部件、余量排出部件以及定量输出部件；

所述过量抽取部件与所述试剂供给机构连接，所述过量抽取部件用于定量抽取自所述试剂供给机构提供预设量的化学试剂；

所述余量排出部件与所述过量抽取部件连接，所述余量排出部件用于将所述过量抽取部件内部的空气以及部分化学试剂排出；

所述定量输出部件连接在所述过量抽取部件以及所述试剂混合机构之间，所述定量输出部件用于将所述过量抽取部件内的剩余化学试剂输送至所述试剂混合机构内。

作为本发明的一种优选方案，所述过量抽取部件包括存液筒、进液管以及量液结构；

所述量液结构设置在所述试剂供给机构的内部，所述试剂供给机构能够自动量取并装载预设量的化学试剂；

所述进液管的一端与所述量液结构连接，所述进液管的另一端与所述存液筒连接以使得预设量的化学试剂进入所述存液筒内。

作为本发明的一种优选方案，所述量液结构包括量筒和浮力球；

所述量筒安装在所述试剂供给机构的内部，在所述量筒的上端开设有进口，所述试剂供给机构的底部通过抽液管路将所述试剂供给机构内的化学试剂抽取至所述开口的正上方，在所述量筒的下端开设有出口，所述出口与所述进液管连接；

所述浮力球安装在所述量筒的内部，在所述量筒满载时，所述浮力球能够堵塞所述进口，在所述进液管上开设有定时开启阀以使得所述量筒内的化学试剂定时定量的输送至所述存液筒内。