[发明专利]一种基于内共振锁频的MEMS谐振式传感器在审
| 申请号： | 202111483360.8 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114184215A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 肖尊浩;施展;宦荣华;浦东;王雪峰;韦学勇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;H03H9/24;H03H9/125 |
| 代理公司： | 杭州广奥专利代理事务所(特殊普通合伙) 33334 | 代理人： | 吴昊 |
| 地址： | 310063 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于内共振锁频的MEMS谐振式传感器，包括低频谐振器模块、高频谐振器模块、耦合梁模块、低频激励模块和高频激励模块，所述低频谐振器模块通过低频谐振梁与低频激励模块连接，所述的低频激励模块能产生激励并通过功率放大器检测低频谐振梁的运动；所述高频谐振器模块通过高频谐振梁与高频激励模块连接，所述的高频激励模块能产生激励并通过功率放大器检测高频谐振梁的运动；所述耦合梁模块连接低频谐振器模块和高频谐振器模块。本发明通过利用低频谐振梁与高频谐振梁频率耦合失锁跳变这一现象，使谐振器能够在非线性区域进行测量，提升了谐振器的灵敏度，扩充了测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 共振 mems 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
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