[发明专利]一种电容器、芯片及电容器的制备方法有效
申请号: | 202111475179.2 | 申请日: | 2021-12-06 |
公开(公告)号: | CN113903857B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 赵东艳;王于波;王凯;陈燕宁;付振;刘芳;余山;邓永峰;吴波 | 申请(专利权)人: | 北京芯可鉴科技有限公司;北京智芯微电子科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司 |
主分类号: | H10N97/00 | 分类号: | H10N97/00;H01L23/64;H01L21/02 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 高英英 |
地址: | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种电容器、芯片及电容器的制备方法,该电容器包括:第一电极、层叠电介质及第二电极,所述层叠电介质位于所述第一电极和所述第二电极之间;所述层叠电介质包括两层以上电介质膜,相邻两层电介质膜的折射率不同,相邻两层电介质膜相接触的表面是非平坦的并且彼此配合。该电容器提高了各个电介质膜的表面平整度、降低了缺陷数量,而且提高了不同折射率电介质膜的耦合性,提升了层叠电介质的击穿电压和经时击穿性能,从而大幅度提高了电容器的电性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容器 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
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