[发明专利]声学谐振器及其制造方法以及滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202111470506.5 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN116232264A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 吴明;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/54;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京允天律师事务所 11697 | 代理人： | 李建航 |
| 地址： | 215121 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供了声学谐振器及其制造方法以及滤波器及其制造方法。根据本公开的声学谐振器的制造方法包括：在衬底内部或表面上形成填充有牺牲材料的反射空腔；在衬底上方沿竖直方向依次形成下电极、压电层和上电极，下电极覆盖反射空腔；去除反射空腔中的牺牲材料；以及通过从反射空腔调整下电极的厚度来调整声学谐振器的频率。根据本公开的声学谐振器及其制造方法，可以在不显著增加工艺复杂度的情况下实时控制下电极的厚度，进而实现对声学谐振器的频率的实时调整。此外，根据本公开的滤波器及其制造方法，对于具有多个声学谐振器的滤波器，可以选择性地调整相应的声学谐振器的频率和/或带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 声学 谐振器 及其 制造 方法 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
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