[发明专利]面探测器阵列结构、探测设备及探测系统在审
申请号: | 202111455956.7 | 申请日: | 2021-12-01 |
公开(公告)号: | CN114242697A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 周幸叶;吕元杰;韩婷婷;王元刚;冯志红 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L25/04 | 分类号: | H01L25/04;H01L23/49 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 彭竞驰 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明适用于光电探测技术领域,提供了一种面探测器阵列结构、探测设备及探测系统,上述面探测器阵列结构包括:多个光电探测单元、M条横向金属带线、与M条横向金属带线一一对应的M个横向选通开关、N条纵向金属带线、及与N条纵向金属带线一一对应的N个纵向选通开关;一个横向选通开关与一个纵向选通开关的组合仅对应一个光电探测单元;主控装置通过控制一个横向选通开关和一个纵向选通开关同时导通,选通对应的光电探测单元,可实现该光电探测单元的信号的读取。本发明通过横向共用金属带线和纵向共用金属带线,各个光电探测单元分时选通,仅需设置少量的金属带线即可实现光电探测单元信号的读取,可实现大规模的探测器阵列。 | ||
搜索关键词: | 探测器 阵列 结构 探测 设备 系统 | ||
【主权项】:
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