[发明专利]基于激子绝缘体相特性的太赫兹探测器及其制备方法

摘要

本发明揭示了一种基于激子绝缘体相特性的太赫兹探测器及其制备方法，所述太赫兹探测器基于钽镍硒在室温下具有激子绝缘体相特性实现对太赫兹波的有效探测，所述制备方法包括：S1、提供衬底；S2、在衬底上通过热氧化法制备氧化层；S3、在氧化层上制备钽镍硒沟道层；S4、在部分氧化层及部分钽镍硒沟道层上制备电极层。本发明基于钽镍硒的优异物理特性，其窄的直接带隙和室温下激子绝缘体相用于室温太赫兹探测器，实现了室温下的高速、宽谱和高灵敏探测，为室温太赫兹探测器的应用奠定了基础。