[发明专利]一种频率可调的MEMS陀螺仪自激启动电路有效
| 申请号： | 202111437109.8 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114199221B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张龙;佟晓娜;陈雷;赵磊;范柚攸;赵忠燕;熊开利 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;H03H11/04 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 李晶尧 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种频率可调的MEMS陀螺仪自激启动电路，属于集成电路领域；包括CV转换电路、放大电路、选频滤波器、移相电路、低通滤波器、驱动电路；其中，CV转换电路的输入端连接MEMS陀螺仪表头第一模态的检测电极；CV转换电路输出端连接放大电路输入端；放大电路输出端连接选频滤波器的输入端；选频滤波器输出端连接移相电路得输入端；移相电路输出端连接低通滤波器的输入端；低通滤波器的输出端连接驱动电路的输入端；驱动电路的输出端连接MEMS陀螺仪表头第一模态的驱动电极；本发明自激启动电路在单芯片中实现，避免了分立元件方案体积大、互连复杂、功耗高、可靠性差等缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 频率 可调 mems 陀螺仪 启动 电路 | ||
【主权项】：
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