[发明专利]一种芯片光刻用氦气输送泵在审
| 申请号： | 202111403841.3 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN113944644A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 蒋启权;王代明 | 申请（专利权）人： | 凯磁科技（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | F04D25/06 | 分类号： | F04D25/06;F04D25/02;F04D29/42;F04D29/08;F04D29/053;F04D29/056;F04D29/12;F04D29/051;F04D15/00;F04D29/58;F04D29/058 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 王德伟 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市慈溪*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片光刻用氦气输送泵，包括机壳，机壳的左端密封连接有蜗壳组件，机壳的右端密封连接有轴承支撑组件，机壳内腔的左端密封安装有磁轴承定子a，机壳内腔的右端密封安装有磁轴承定子b，机壳内腔的中部安装有定子组件，机壳内还安装有转轴总成，转轴总成依次穿过磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b，且转轴总成在磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b的磁力作用下周向转动，转轴总成的左端还安装有叶轮，叶轮位于蜗壳组件内。机壳内的氦气会形成静态密封，在工作时，机壳内的组件与蜗壳之间会形成气密封，从而避免了氦气从机壳内带走物质，保证了氦气质量，且该氦气输送泵，能够高速转动，从而保证氦气的输送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 光刻 氦气 输送 | ||
【主权项】：
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