[发明专利]一种芯片光刻用氦气输送泵

说明书

本发明公开了一种芯片光刻用氦气输送泵，包括机壳，机壳的左端密封连接有蜗壳组件，机壳的右端密封连接有轴承支撑组件，机壳内腔的左端密封安装有磁轴承定子a，机壳内腔的右端密封安装有磁轴承定子b，机壳内腔的中部安装有定子组件，机壳内还安装有转轴总成，转轴总成依次穿过磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b，且转轴总成在磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b的磁力作用下周向转动，转轴总成的左端还安装有叶轮，叶轮位于蜗壳组件内。机壳内的氦气会形成静态密封，在工作时，机壳内的组件与蜗壳之间会形成气密封，从而避免了氦气从机壳内带走物质，保证了氦气质量，且该氦气输送泵，能够高速转动，从而保证氦气的输送。

技术领域

本发明涉及芯片光刻用的氦气输送，特别是一种芯片光刻用氦气输送泵。

背景技术

目前，光刻机是芯片制作时需要使用到的设备，全球的光刻机处于垄断状态，而且国外还对国内进行了技术封锁，导致国内的光刻机需要突破层层封锁，才有可能制造出高端的芯片。

光刻机在制作芯片时，为保证芯片的光刻的质量，通常会在氦气环境中进行光刻，并且氦气在一个密闭的通道中进行流动，而为了使氦气流动，则需要给氦气动力，因此则需要氦气输送泵，但是光刻机对氦气要求比较高，特别是在洁净度方面，因此对氦气输送泵也就要求无油、无尘、无噪音等。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种芯片光刻用氦气输送泵。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种芯片光刻用氦气输送泵，包括机壳，机壳的左端密封连接有蜗壳组件，机壳的右端密封连接有轴承支撑组件，机壳内腔的左端密封安装有磁轴承定子a，机壳内腔的右端密封安装有磁轴承定子b，机壳内腔的中部安装有定子组件，机壳内还安装有转轴总成，转轴总成依次穿过磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b，且转轴总成在磁轴承定子a、定子组件和磁轴承定子b的磁力作用下周向转动，转轴总成的左端还安装有叶轮，叶轮位于蜗壳组件内。

可选的，转轴总成包括中空的芯轴a和中空的芯轴b，芯轴a或芯轴b的内腔内安装有磁钢，芯轴a和芯轴b通过磁钢磁性连接，位于叶轮右侧的芯轴a上从左往右依次安装有衬套a和待测件，衬套a上套装有轴承a，衬套a、轴承a和待测件均位于磁轴承定子b内，芯轴b上从左往右此次设置有径向磁轴承冲片b、被测环、推力盘和轴承b，径向磁轴承冲片b、被测环、推力盘位于磁轴承定子b内，轴承b位于轴承支撑组件内。

可选的，磁轴承定子a包括支撑座、轴承座a，检测组件a和径向磁轴承定子a，支撑座的外缘上安装有密封圈，支撑座通过螺钉组件安装在机壳的左端，且支撑座和机壳的左端内腔通过密封圈密封，支撑座具有台阶腔a和台阶腔b，台阶腔a位于台阶腔b的左侧，且台阶腔a内密封安装有轴承座a，台阶腔b内安装有径向磁轴承定子a，台阶腔a内还安装有检测待测件移动的检测组件a，检测组件a位于径向磁轴承定子a和轴承座a之间，轴承a位于轴承座a内，且芯轴a上还安装有密封环，密封环位于待测件和叶轮之间，密封环的内圈与芯轴a在径向方向上具有间隙，且密封环在叶轮的顶压下紧压衬套a。

可选的，检测组件a包括固定壳a和塑封模块a，塑封模块a安装在固定壳a内，且塑封模块a的径向方向上安装有检测芯轴a径向位移的径向位移探测器a，塑封模块a块的轴向方向上安装有检测芯轴a轴向位移的轴向位移探测器，塑封模块a包括环形圈，环形圈的径向方向上设置有径向柱a，环形圈的内侧壁上轴向设置有的轴向柱a，固定壳a上具有芯轴a穿过的通孔，且固定壳a的一端面上开设有环形槽d，固定壳a的径向方向上开设有径向穿孔a，径向穿孔a穿过环形槽d并与通孔连通，固定壳a上还轴向开设有轴向穿孔a，环形圈安装在环形槽d内，轴向柱a安装在轴向穿孔a内，径向柱a安装在径向穿孔a内，径向柱a内安装有检测待测件径向位移的径向位移探测器a，轴向柱a内安装有检测待测件轴向位于的轴向位移探测器。

可选的，待测件具有轴向检测面和径向检测面，芯轴a穿过固定壳a的通孔，且径向检测面与通孔之间存在间隙，轴向检测面与固定壳a之间存在间隙。