[发明专利]一种具有应变自抵消的抗过载MEMS可动结构有效
| 申请号： | 202111357289.9 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114234949B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张乐民;刘福民;刘国文;徐杰;刘宇;张树伟;杨静;崔尉 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 高志瑞 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有应变自抵消的抗过载MEMS可动结构，包括：第一可动质量块、第二可动质量块、第一结构单元、第二结构单元、第三结构单元、第四结构单元、第一抗过载固定锚区、第二抗过载固定锚区、第一抗过载应变梁、第二抗过载应变梁、第一抗过载支撑梁和第二抗过载支撑梁；其中，第一结构单元、第二结构单元、第三结构单元和第四结构单元的结构相同，均包括质量块梳齿、驱动梳齿、驱动梳齿锚区、转动振动梁、转动调整梁、弯曲振动梁固定锚区、弯曲振动梁、应力释放梁。本发明避免可动MEMS结构在运动方向受到大冲击时，由于结构位移过大造成结构断裂，可应用于MEMS陀螺结构设计中，提高结构抗过载特性，提高谐振频率稳定性，降低驱动检测正交耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 应变 抵消 过载 mems 结构 | ||
【主权项】：
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