[发明专利]获取直拉法拉制硅棒的实时长度的装置、方法及拉晶炉在审
| 申请号： | 202111356858.8 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114046755A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 陈曦鹏;孙介楠;王晓豪;王琼琼;韩聪 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;C30B29/06;C30B15/20;C30B15/00 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了获取直拉法拉制硅棒的实时长度的装置、方法及拉晶炉，该装置包括：固定地设置在用于夹持籽晶的夹头上方的测距传感器，测距传感器用于在被夹头夹持的籽晶位于硅熔体的液面处时测量自身与夹头之间的基准实际距离并还用于在夹头被提拉并且籽晶远离液面以在液面处生长所述硅棒期间测量自身与夹头之间的实时实际距离；换算单元，其用于基于基准实际距离确定测距传感器与夹头之间在竖直方向上的基准竖直距离并还用于基于实时实际距离确定测距传感器与夹头之间在竖直方向上的实时竖直距离的；用于计算基准竖直距离减去实时竖直距离所得到的实时差值来作为所述硅棒的实时长度的计算单元。 | ||
| 搜索关键词： | 获取 法拉 制硅棒 实时 长度 装置 方法 拉晶炉 | ||
【主权项】：
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