[发明专利]获取直拉法拉制硅棒的实时长度的装置、方法及拉晶炉

权利要求书

1.一种用于在直拉法拉制硅棒期间获取所述硅棒的实时长度的获取装置，其特征在于，所述获取装置包括：

固定地设置在用于夹持籽晶的夹头上方的测距传感器，所述测距传感器用于在被所述夹头夹持的所述籽晶位于硅熔体的液面处时测量自身与所述夹头之间的基准实际距离，所述测距传感器还用于在所述夹头被提拉并且所述籽晶远离所述液面以在所述液面处生长所述硅棒期间测量自身与所述夹头之间的实时实际距离；

换算单元，所述换算单元用于基于所述基准实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的基准竖直距离，所述换算单元还用于基于所述实时实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的实时竖直距离；

计算单元，所述计算单元用于计算所述基准竖直距离减去所述实时竖直距离所得到的实时差值来作为所述硅棒的实时长度。

2.根据权利要求1所述的获取装置，其特征在于，所述测距传感器设置成在竖直方向上与所述夹头对准，所述换算单元将所述基准实际距离作为所述基准竖直距离，并且所述换算单元将所述实时实际距离作为所述实时竖直距离。

3.根据权利要求1所述的获取装置，其特征在于，所述测距传感器设置成相对于所述夹头在水平方向上偏移，所述换算单元根据所述基准实际距离和偏移距离换算所述基准竖直距离，并且所述换算单元根据所述实时实际距离和所述偏移距离换算所述实时竖直距离。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的获取装置，其特征在于，所述获取装置还包括显示屏，所述显示屏用于显示所述硅棒的实时长度的读数。

5.一种用于在直拉法拉制硅棒期间获取所述硅棒的实时长度的方法，其特征在于，所述方法包括：

固定地设置在用于夹持籽晶的夹头上方的测距传感器在被所述夹头夹持的所述籽晶位于硅熔体的液面处时测量自身与所述夹头之间的基准实际距离；

基于所述基准实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的基准竖直距离；

所述测距传感器在所述夹头被提拉并且所述籽晶远离所述液面以在所述液面处生长所述硅棒期间测量自身与所述夹头之间的实时实际距离；

基于所述实时实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的实时竖直距离；

计算所述基准竖直距离减去所述实时竖直距离所得到的实时差值来作为所述硅棒的实时长度。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，相应于所述测距传感器在竖直方向上与所述夹头对准，

所述基于所述基准实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的基准竖直距离包括：

将所述基准实际距离作为所述基准竖直距离；并且

所述基于所述实时实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的实时竖直距离包括：

将所述实时实际距离作为所述实时竖直距离。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，相应于所述测距传感器相对于所述夹头在水平方向上偏移，

所述基于所述基准实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的基准竖直距离包括：

根据所述基准实际距离和偏移距离换算所述基准竖直距离；并且

所述基于所述实时实际距离确定所述测距传感器与所述夹头之间在竖直方向上的实时竖直距离包括：

根据所述实时实际距离和所述偏移距离换算所述实时竖直距离。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

将所述硅棒的实时长度的读数进行显示。

9.一种拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉包括：

根据权利要求1至4中任一项所述的获取装置；

炉体；

设置在所述炉体内部的坩埚，所述坩埚用于容纳所述硅熔体；

设置在所述炉体内部并且设置在所述坩埚外围的加热器，所述加热器用于对所述坩埚进行加热；

与所述夹头固定连接的提拉线；

设置在所述炉体外部的驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述提拉线移动以对所述夹头进行提拉。

10.根据权利要求9所述的拉晶炉，其特征在于，所述测距传感器设置在所述炉体的内壁上。