[发明专利]测量装置在审
| 申请号： | 202111354837.2 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114520457A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 木村展之;能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | H01S3/067 | 分类号： | H01S3/067;H01L21/268;H01L21/67;H01S3/093;H01S3/0933 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 杨俊波;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供测量装置，其通过以充分的光量高效率地将光照射至被测量物而能够进行高精度的测量。该测量装置构成为包含：保持工作台，其对被测量物进行保持；以及测量单元，其对该保持工作台所保持的被测量物的高度或厚度机械能测量，其中，该测量单元包含：光源单元；光纤，其对该光源单元发出的光进行引导；以及聚光器，其将该光纤所引导的光会聚于该保持工作台所保持的该被测量物，该光源单元包含：激励光源；荧光体，当接受该激励光源发出的激励光时，该荧光体发出波长与该激励光不同的荧光；以及第1聚光透镜，其将该激励光源发出的该激励光会聚于该荧光体。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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