[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置，其构成为包含：

保持工作台，其对被测量物进行保持；以及

测量单元，其对该保持工作台所保持的被测量物的高度或厚度进行测量，

其特征在于，

该测量单元包含：

光源单元；

光纤，其对该光源单元发出的光进行引导；以及

聚光器，其将该光纤所引导的光会聚于该保持工作台所保持的该被测量物，

该光源单元包含：

激励光源；

荧光体，当接受该激励光源发出的激励光时，该荧光体发出波长与该激励光不同的荧光；以及

第1聚光透镜，其将该激励光源发出的该激励光会聚于该荧光体。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体配设于反射基板上，

该光源单元还包含：

分色镜，其配设于该第1聚光透镜与该荧光体之间，使该激励光透过，并反射该荧光；以及

第2聚光透镜，其使该分色镜所反射的该荧光会聚于该光纤。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体配设于反射基板上，

该光源单元还包含：

分色镜，其配设于该第1聚光透镜与该荧光体之间，反射该激励光，并使该荧光透过；以及

第2聚光透镜，其使透过了该分色镜的该荧光会聚于该光纤。

4.根据权利要求2或3所述的测量装置，其特征在于，

在配设有该荧光体的该反射基板上连接有对该荧光体进行冷却的冷却机构。

5.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体配设于透明基板上，

该光源单元还包含使由该荧光体发出且透过了该透明基板的该荧光会聚于该光纤的第2聚光透镜。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体以包含环状区域的形状配设于具有旋转轴的圆形的该透明基板上，

该光源单元还包含通过使该透明基板绕该旋转轴旋转而抑制该荧光体的温度上升的旋转驱动源。

7.根据权利要求2或3所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体以包含环状区域的形状配设于具有旋转轴的圆形的该反射基板上，

该光源单元还包含通过使该反射基板绕该旋转轴旋转而抑制该荧光体的温度上升的旋转驱动源。

8.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体埋设于该光纤中。

9.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

该荧光体配设于该光纤的端面上。

10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的测量装置，其特征在于，

该激励光源是激光二极管。