[发明专利]一种获取衍射近场分布的方法在审
| 申请号： | 202111335555.8 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114092490A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 李梓棋;韦亚一;董立松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06T7/11 | 分类号： | G06T7/11;G06T7/60;G06K9/62;G06V10/774 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 王首峰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种获取衍射近场分布的方法，属于光刻技术领域，不但能够提高衍射近场分布计算结果的准确度，而且能够减少计算时间。方法包括：确定待获取衍射近场分布的目标掩模图形，并根据图形类型分割所述目标掩模图形，得到组成所述目标掩模图形的目标分割图形；确定与所述目标分割图形对应的目标核矩阵，并根据所述目标分割图形和所述目标核矩阵，得到与所述目标分割图形对应的目标区域衍射近场分布；拼接所有目标区域衍射近场分布，获取所述目标掩模图形的衍射近场分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获取 衍射 近场 分布 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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