[发明专利]一种特殊MEMS粘接胶混合工艺及制品有效

专利信息
申请号: 202111335058.8 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN114085627B 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 万新欣;韩金龙 申请(专利权)人: 格物感知(深圳)科技有限公司
主分类号: C09J9/02 分类号: C09J9/02;C09J183/04
代理公司: 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 代理人: 刘一佳
地址: 518000 广东省深圳市福田*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种特殊MEMS粘接胶配方产品、混合工艺及制品,其中混合工艺包括步骤:回温‑混合处理1‑静置处理‑混合处理2‑静置处理‑混合处理3‑静置处理‑装管;考虑到MEMS产品(芯片)对于封装高散热与低应力的需求,我们创新的使用了一种特殊的混合工艺,生产出匹配MEMS芯片要求的粘接胶;经实验检测,该胶水在满足散热的基本需求下,能够实现封装的低应力,从而大大降低封装对应力对产品性能的影响,为实现MEMS产品高精度封装提供了保障。
搜索关键词: 一种 特殊 mems 粘接胶 混合 工艺 制品
【主权项】:
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