[发明专利]一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制作设备

摘要

本发明涉及纳米材料制备技术领域，具体涉及一种纳米银膜制备工艺及制备设备。为了为了提供一种绿色环保的生产纳米银膜的方法，本发明提供一种纳米银膜制备工艺及制备设备，该所述制备工艺包括如下步骤，将可溶性材料制成的基膜平整的固定在磁控溅射设备上，张力锁紧；将金属银通过磁控溅射工艺均匀附着在可溶性材料制成的基膜上，金属银附着完成后基膜收料；将附着银膜的基膜在浸除液中浸除；将银膜干燥后收取。本制备工艺可实现纳米级厚度银膜的稳定制备，且银膜厚度一致性好，制备工艺过程中无有害化学反应，不产生有害化学废液，绿色环保。