[发明专利]一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制作设备

说明书

本发明涉及纳米材料制备技术领域，具体涉及一种纳米银膜制备工艺及制备设备。为了为了提供一种绿色环保的生产纳米银膜的方法，本发明提供一种纳米银膜制备工艺及制备设备，该所述制备工艺包括如下步骤，将可溶性材料制成的基膜平整的固定在磁控溅射设备上，张力锁紧；将金属银通过磁控溅射工艺均匀附着在可溶性材料制成的基膜上，金属银附着完成后基膜收料；将附着银膜的基膜在浸除液中浸除；将银膜干燥后收取。本制备工艺可实现纳米级厚度银膜的稳定制备，且银膜厚度一致性好，制备工艺过程中无有害化学反应，不产生有害化学废液，绿色环保。

技术领域

本发明涉及纳米材料制备技术领域，具体涉及一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制备设备。

背景技术

随着微电子领域及生物技术的发展，对于纳米级银膜的需求越来越强烈，现阶段制备银膜采用的是压延法制备工艺，此工艺仅能保证稳定的微米级银膜的供给，无法达到纳米级别，目前，采用化学还原法制备的银膜可以达到纳米级，但会产生大量的化学废液，污染环境，无法大量生产，因此现急需要一种绿色环保的生产纳米级银膜的方法。

发明内容

为了提供一种绿色环保的生产纳米银膜的方法，本发明提供一种纳米银膜制备工艺及纳米银膜制备设备，该所述制备工艺包括如下步骤：

S1、将可溶性材料制成的基膜平整的固定在磁控溅射设备上，张力锁紧；

S2、将金属银通过磁控溅射工艺均匀附着在可溶性材料制成的基膜上，金属银附着完成后基膜收料；

S3、将附着银膜的基膜在浸膜液中将基膜浸除，获得银膜；

S4、将银膜脱水后收取。

进一步的，所述步骤S1中，所述可溶性材料制成的基膜在20-30kgf/m张力作用下，表面无肉眼可见褶皱。

进一步的，所述步骤S1中的可溶性材料为水溶性材料，所述步骤S3中的浸膜液为去离子水。

进一步的，所述水溶性材料为直链淀粉、羧甲基纤维素钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮的其中一种。

进一步的，所述步骤S1中，可溶性材料为聚偏氟乙烯，所述步骤S3中的浸除液为N-甲基吡咯烷酮。

进一步的，所述步骤S2中，金属银附着在基膜的厚度在20nm-2000nm之间。

进一步的，所述步骤S2中，金属银附着在基膜的厚度在50nm-500nm之间。

进一步的，所述步骤S2中，金属银附着在基膜的厚度为30nm、60nm、90nm、200nm、600nm、800nm、1200nm、1500nm、1800nm、

进一步的，所述去离子水的电导率5μs/cm以下，所述去离子水的温度为60-95℃。

进一步的，所述水溶性材料为直链淀粉时所述去离子水的温度为70-95℃；所述水溶性材料为聚乙烯醇时所述去离子水的温度为65-85℃；所述水溶性材料为羧甲基纤维素钠时所述去离子水的温度为10-80℃；所述水溶性材料为聚乙烯吡咯烷酮时所述去离子水的温度为10-65℃。

进一步的，所述步骤S4中的银膜脱水方式为自然干燥或加热干燥或风干。

进一步的，所述步骤S4中的脱水是在真空环境下进行的。

一种纳米银膜制备设备包括磁控溅射设备、浸膜装置、输送装置、烘干装置、和收纳装置，所述浸膜装置与输送装置连接，所述输送装置上设有烘干装置，所述输送装置与收纳装置连接。

进一步的，所述浸膜装置包括液体循环系统、浸膜箱、浸膜液，所述浸膜箱上设有加热装置，所述浸膜液盛装在浸膜箱中，所述浸膜液能够溶解可溶性材料，所述液体循环系统能使浸膜箱中的浸膜液流动。