[发明专利]一种红外焦平面阵列及其制备方法

摘要

本公开提供了一种红外焦平面阵列及其制备方法，其中，红外焦平面阵列包括：图形衬底；IV族材料外延层，生长于上述图形衬底上；钝化层，覆盖于上述IV族材料外延层上，且设有第一电极孔和第二电极孔；第一电极，设置于上述第一电极孔内，与上述图形衬底相连接；第二电极，设置于上述第二电极孔内，与上述IV族材料外延层相连接；抗氧化层，覆盖于上述钝化层上，且设有通孔；互联金属层，设置于上述通孔内。本公开提供的红外焦平面阵列中的带有图形的图形衬底能够增加进入IV族材料外延层中的光，并且能够改善外延材料的应力，提高外延材料质量，同时，采用IV族材料还可以提高红外焦平面阵列的读出电路的兼容性，以及降低制作成本。