[发明专利]一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备及方法在审
| 申请号： | 202111291503.5 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114047383A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;陈秀华;胡锦国;赵宇欣;王遵义;孙健;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01D21/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李彦彦 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，包括测试架，测试架上设置有测试台，测试台上固定设置有若干组用于支撑单晶硅棒的晶棒支撑模块，测试台上滑动设置有用于测量单晶硅棒直径的扫描模块；测试台上固定设置有移动机构，移动机构上固定安装有用于打磨吸尘单晶硅棒的打磨吸尘模块和用于测试单晶硅棒电阻率的电阻率测试模块。本发明所述的一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备及方法能够自动检测装夹于试验台上的单晶硅棒的温度及电阻率，采用自动化测量方法，降低人为测试的误差，检测精度高、耗时短、可自动控制、减少人工参与、提高测试效率，适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 电阻率 自动化 测试 设备 方法 | ||
【主权项】：
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