[发明专利]一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备及方法

权利要求书

1.一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，其特征在于：包括测试架(1)，测试架(1)上设置有测试台(2)，测试台(2)上固定设置有若干组用于支撑单晶硅棒(10)的晶棒支撑模块(3)，测试台(2)上滑动设置有用于测量单晶硅棒(10)直径的扫描模块(4)；测试台(2)上固定设置有移动机构(5)，移动机构(5)上固定安装有用于打磨吸尘单晶硅棒(10)的打磨吸尘模块(6)和用于测试单晶硅棒(10)电阻率的电阻率测试模块(7)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，其特征在于：若干组晶棒支撑模块(3)呈横向排列设置，每组晶棒支撑模块(3)之间留有与晶棒运输车叉齿对应的空隙；

每组晶棒支撑模块(3)包括支撑架(301)，支撑架(301)为U形结构，支撑架(301)固定安装在测试台(2)上，支撑架(301)上装配安装有两组滚筒(302)，两组滚筒(302)之间留有放置单晶硅棒(10)的缝隙，滚筒(302)外层涂敷胶皮；

支撑架(301)内侧壁上固定安装有检测单晶硅棒(10)的测温传感器(303)和检测单晶硅棒(10)有无的物料传感器(304)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，其特征在于：位于晶棒支撑模块(3)两侧的测试台(2)上设有两组滑槽(201)，滑槽(201)内滑动设置有扫描模块(4)，扫描模块(4)包括横移直线模组(401)，横移直线模组(401)固定设置在测试台(2)的底端，横移直线模组(401)上滑动设置有沿滑槽(201)移动的安装支架(402)，安装支架(402)上固定安装有两组气缸(403)，气缸(403)的输出轴端均固定连接有直径传感器(404)，两组直径传感器(404)位于单晶硅棒(10)的两侧。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，其特征在于：移动机构(5)包括两组平行设置的横向直线模组(501)，两组横向直线模组(501)上滑动设置有纵向直线模组一(502)和纵向直线模组二(503)，打磨吸尘模块(6)通过固定支架一(8)固定安装在纵向直线模组一(502)上，电阻率测试模块(7)通过固定支架二(9)固定安装在纵向直线模组二(503)上。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，其特征在于：打磨除尘模块包括支撑板(601)，支撑板(601)固定设置在固定支架一(8)上，支撑板(601)上固定安装有两组吸尘管(602)，两组吸尘管(602)连接吸尘装置，两组吸尘管(602)之间留有空隙，空隙内固定设设置有两组直线轴承(603)，直线轴承(603)内滑动设置有导向杆(604)，导向杆(604)包括滑动部，滑动部对应设置在直线轴承(603)内，滑动部的顶端设有用于防止导向杆(604)脱离直线轴承(603)的限位部，滑动部的底端固定设置有安装件(605)，安装件(605)为U形结构，安装件(605)内固定设置有用于打磨单晶硅棒(10)表面的油石(606)；

滑动部上套设有弹簧，弹簧位于安装件(605)与支撑板(601)之间。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备，其特征在于：测试台(2)的上方固定设置有防护罩，防护罩的一侧设有开口，开口处安装有光幕；

位于防护罩开口处侧的测试架(1)上固定设置有用于定位单晶硅棒(10)运输车的导向条(101)。