[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法在审
申请号: | 202111283318.1 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN116067531A | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 甘芳吉;马立泰;汪俊 | 申请(专利权)人: | 成都泽康智骨科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人: | 吴中伟 |
地址: | 610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易试*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及压力传感器领域,具体涉及一种电容式压力传感器及其制备方法,极大地提高了电容式压力传感器的灵敏度。本发明电容式压力传感器,包括多孔液态金属电极、离子凝胶介电层、第一电极以及第二电极,第一电极覆盖在多孔液态金属电极的上表面,多孔液态金属电极的下表面与离子凝胶介电层的上表面连接,离子凝胶介电层的下表面覆盖有第二电极;所述多孔液态金属电极在承受外力时会发生形变,同时离子凝胶介电层的上表面电荷密度增加,当外力撤除时,形变将会恢复,同时离子凝胶介电层的上表面电荷密度将会回复原状。本发明适用于压力传感器。 | ||
搜索关键词: | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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