[发明专利]半导体器件的短接通道、制造方法以及电性测试方法在审
申请号: | 202111281384.5 | 申请日: | 2021-11-01 |
公开(公告)号: | CN114171482A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 徐家胤;林万建 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/495;H01L21/60;G01R31/26 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 甄丹凤 |
地址: | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 公开了一种半导体器件的短接通道、制造方法以及电性测试方法,所述短接通道为连续的线形导电通道,包括:多个焊点,所述多个焊点与半导体器件中具有相同电位的多个焊盘一一对应;以及导线,连接于相邻焊点之间。本公开提供的半导体器件的电性测试方法,通过将具有相同电位的焊盘短接,并将短接的焊盘连接于同一个测试通道进行电性测试,以减少测试通道,从而实现同时进行不同种类的电性测试。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 接通 制造 方法 以及 测试 | ||
【主权项】:
暂无信息
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