[发明专利]一种基板表面成膜装置及成膜方法

摘要

本发明公开了一种基板表面成膜装置及成膜方法，属于自动化技术领域。包括成膜座、第一滑轨和喷射机构，其中成膜座设置在机器人的输出端，第一滑轨连接于成膜座，第一滑轨设有传送机构和定位机构，传送机构设有第一夹持组件和第二夹持组件，传送机构夹取并传送多个基板，定位机构对基板成膜前进行定位，喷射机构对定位后的基板进行局部喷射成膜气体。本发明的基板表面成膜用控制装置，利用传送机构对基板进行批量化夹取、成膜作业时的夹持以及成膜完成后的传送，效率较高，对气体喷头成膜作业过程中的多余气体做进一步的位置处理及收集作业，有效的提升装置的使用效果，利用模具对成膜的形状进行固定，可进一步提高气体喷头的工作效。