[发明专利]一种基板表面成膜装置及成膜方法

权利要求书

1.一种基板表面成膜装置，设置在机器人的输出端，所述机器人至少包括成膜端和基板存放座，其特征在于，包括，

成膜座，设置在所述机器人的输出端；所述成膜座至少具有在水平向的一个自由度；

第一滑轨，滑动连接于所述成膜座；所述第一滑轨设有传送机构和定位机构；所述传送机构设有第一夹持组件和第二夹持组件；所述传送机构夹取并传送多个基板；所述定位机构对基板成膜前进行定位；

喷射机构，设于所述成膜座的底部；所述喷射机构对定位后的基板的局部喷射成膜气体。

2.根据权利要求1所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，所述成膜座包括：

连接轴，连接于所述机器人的输出端；

连接座，转动连接于所述连接轴的端部；所述连接座为凹形设置；所述连接座内置动力组件，驱动所述连接座相对连接轴旋转预设的角度。

3.根据权利要求1所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，所述第一夹持组件包括：

第一滑动座，设置在所述第一滑轨底部滑动；

升降组件，连接于所述第一滑动轨道；

安装板，连接于所述升降组件；所述安装板设有长条形通孔；

第一气缸，转动安装于所述安装板上；所述第一气缸的移动端与连轴的一端转动连接；

转动轴，转动设于所述安装板的下方；所述转动轴的中间位置处固定连接连轴的另一端；

夹取组件，设于所述转动轴上；所述夹取组件用于夹取基板。

4.根据权利要求3所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，所述夹取组件包括：

固定爪，连接于所述转动轴；所述固定爪内侧面设有多组同向运动的滚轮；驱动所述滚轮同向运动的动力源；设于所述滚轮表面设有橡胶层；

转动爪，转动连接于所述安装板；所述转爪转动预设的角度与固定爪组成夹取基板的夹爪，并调整基板的位置。

5.根据权利要求1所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，所述第二夹持组件与第一夹持组件部件相同，且对称设置在第一滑轨上。

6.根据权利要求1所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，定位机构包括：

第二滑轨，设于所述第一滑轨内侧；

模具，连接于所述第二滑轨的滑动座；所述模具为镂空的平板，且镂空的纹路对应基板的局部成膜的形状；

感应组件，设于所述模具的底部位置；所述感应组件用于定位模具与基板的直线距离。

7.根据权利要求6所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，所述感应组件包括:

感应头，弹性设于所述模具的底部；所述感应头的接触位置设有微型万向轮；

信号电路，连接于所述感应头；所述基板平移到预设的位置，所述感应头受到基板的挤压发生位移，使得信号电路闭合，信号电路作为启动信号，所述喷射机构开始工作。

8.根据权利要求1所述的一种基板表面成膜装置，其特性在于，所述喷射机构包括：

双轨道，连接于所述成膜座的连接座的底部；

第三滑轨，设于所述双轨道上滑动；所述第三轨道设有第三滑动座；

气体喷头，安装于所述第三滑动座上。

9.根据权利要求1所述的一种基板表面成膜装置，其特征在于，还包括处理机构，所述处理机构安装于第一滑轨的内侧，且空间上位于模具与喷射机构之间，所述处理机构包括：

风扇，连接于所述第一滑轨的一侧；

处理棉体，设于所述第一滑轨的另一侧；所述风扇的吹风向与气体喷头的喷射路径垂直；所述风扇吹动的漂浮气体至处理棉体上进行吸收。

10.基于权利要求1至9任一项所述基板表面成膜装置及成膜方法，其特征在于，包括以下步骤

步骤一：第一夹持组件夹取基板的一侧，并翻转基板至预设角度，使基板与模具平行，第二夹持组件夹取基板的另一侧，此时成膜座带动整个装置转动预设角度，传送机构同步控制基板至预设的位置，信号电路启动；

步骤二：喷射机构进行作业，气体喷头沿着预设的路径对模具喷射膜气体，从而对基板进行局部成膜作业；

步骤三：成膜作业完成后，启动风扇，风扇吹动漂浮气体至处理棉体进行吸收；

步骤四：成膜座再次带动整个装置恢复至初始角度，第一夹持组件松开基板，第二夹持组件夹取并旋转基板至下一个工序。