[发明专利]一种抗反射涂层组合物及可交联聚合物有效

专利信息
申请号: 202111241133.4 申请日: 2021-10-25
公开(公告)号: CN113913075B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 张爱强;陈仁治;马克·奈舍;江一敏;陈渊 申请(专利权)人: 嘉庚创新实验室
主分类号: C09D133/12 分类号: C09D133/12;C09D133/24;C09D133/14;C09D133/10;C08F220/14;C08F220/58;C08F220/20;C08F220/18;C08F120/32;H01L21/027
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 361003 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供了一种抗反射涂层组合物,包括有机聚合物;所述有机聚合物包括可交联聚合物;所述可交联聚合物包括式(I)所示单体形成的单体单元;其中,R1选自取代或未取代的C2~C10的烯基;R2与R3各自独立地选自H、取代或未取代的C1~C6的烷基、取代或未取代的C6~C20的芳基。与现有技术相比,本发明提供的可交联聚合物包含能够与羟基、氨基和巯基等官能团进行自交联的单体单元,从而在涂层中无需加入交联剂,能够有效地解决或避免组合物在烘烤过程中产生气体,减少不必要的清洁程序同时降低气体凝结而成的固体掉落造成图案被破坏的风险,能够简化相应的工艺流程,节约成本。
搜索关键词: 一种 反射 涂层 组合 交联 聚合物
【主权项】:
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