[发明专利]可编程光电探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111200744.4 申请日: 2021-10-13
公开(公告)号: CN113948594A 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 孙翊淋;丁英涛;李明杰;刘志方;陈志铭 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/113;H01L31/18
代理公司: 北京市中闻律师事务所 11388 代理人: 冯梦洪
地址: 100081 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 公开一种可编程光电探测器及其制备方法,利用强铁电局域极化电场对其上表面的双极性半导体分别进行P型或N型掺杂,形成PN结型光电探测器,同时结合铁电极化的非挥发存储特性,PN结的极性可通过施加不同的栅极电压实现可编程操作,从而实现高效、多功能、快速的光电探测。这种可编程光电探测器,其从下至上包括:衬底(1)、背栅电极a(2)、背栅电极b(3)、无机铁电层(4)、二维半导体沟道(5)以及源漏电极(6)。
搜索关键词: 可编程 光电 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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