[发明专利]一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机有效
申请号: | 202111193374.6 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN114038939B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 顾建军 | 申请(专利权)人: | 泰州君之华新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 陈培生 |
地址: | 225300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了蚀刻机技术领域的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,包括防护壳,所述防护壳内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构,所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构;本发明通过在每次对光伏晶片进行双面蚀刻时,利用放置机构将光伏晶片稳定的支撑,并在光伏晶片一面蚀刻完成后,配合转换机构,使放置机构进行转动,放置机构先进行闭合,将光伏晶片进行夹持稳定,避免在转动过程中光伏晶片滑出,且在转换过后,转换机构使放置机构中部打开,避免放置机构干扰蚀刻液蚀刻光伏晶片,保证蚀刻液对光伏晶片的蚀刻效果,快速对光伏晶片双面进行蚀刻。 | ||
搜索关键词: | 一种 新能源 晶片 高效 蚀刻 | ||
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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