[发明专利]一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机有效
申请号: | 202111193374.6 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN114038939B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 顾建军 | 申请(专利权)人: | 泰州君之华新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 陈培生 |
地址: | 225300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新能源 晶片 高效 蚀刻 | ||
1.一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,包括防护壳(1),其特征在于:所述防护壳(1)内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构,所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构,所述放置机构在转换机构驱动的同时发生上下的移动并使放置机构顶部的打开,所述防护壳(1)顶部连接有用于对光伏晶片进行喷淋蚀刻液的喷淋机构,所述喷淋机构位于放置机构的正上方;
所述放置机构包括两个第一转轴(2),两个所述第一转轴(2)分别转动连接在所述防护壳(1)左右两侧壁上,两个所述第一转轴(2)内端均固定连接有第一转板(3),两个所述第一转板(3)内侧均开设有两个第一滑槽(4),每个所述第一滑槽(4)内侧壁上均滑动连接有第一滑板(5),同水平两个所述第一滑板(5)之间共同固定连接有搁置网板(6),每个所述第一滑槽(4)内侧壁上均固定连接有强力弹簧(7),所述强力弹簧(7)外端固定连接在第一滑板(5)上;
所述转换机构包括第一电机(8),所述第一电机(8)固定连接在防护壳(1)的外侧壁上,所述第一电机(8)的输出轴与第一转轴(2)固定连接,每个所述第一滑板(5)外端均固定连接有导向滑杆(9),所述防护壳(1)左右内侧壁上均通过两个第一连杆(10)固定连接有引导轨(11),所述导向滑杆(9)位于引导轨(11)的内侧,所述引导轨(11)用于使两个搁置网板(6)在转换位置的过程中闭合,两个所述搁置网板(6)中部均开设有第一通槽(12),两个所述第一通槽(12)内侧均转动连接有第一转杆(13),每个所述第一转杆(13)外表面上均固定连接有转动网板(14),所述第一转板(3)外侧壁上连接在转换两个搁置网板(6)过程中使转动网板(14)打开的转动机构。
2.根据权利要求1所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:所述转动机构包括四个第一齿轮(15),四个所述第一齿轮(15)分别固定连接在四个所述第一转杆(13)的外表面上,每个所述第一转板(3)外侧壁上均固定连接有两个第一连接板(16),每个所述第一连接板(16)外端均固定连接有第一齿条(17),所述第一齿条(17)与第一齿轮(15)相啮合。
3.根据权利要求2所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:两个所述搁置网板(6)相对面均固定连接有防护板(18),所述防护板(18)用于防止光伏晶片滑出。
4.根据权利要求3所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:两个所述防护板(18)内侧均连接有两组相对布置的用于对中光伏晶片的对中机构,所述对中机构包括若干第二滑杆(19),若干所述第二滑杆(19)均贯穿防护板(18)并与其滑动连接,若干所述第二滑杆(19)内端共同固定连接有夹紧板(20),若干所述第二滑杆(19)外端共同固定连接有拉动板(21),所述拉动板(21)外侧壁上固定连接有若干引导块(22),顶部所述引导块(22)与底部引导块(22)错位布置,每个所述第二滑杆(19)外表面上均套设有位于夹紧板(20)与防护板(18)之间的第一弹簧(23),两个所述第一转板(3)外侧壁上均固定连接有第二连接板(24),两个所述第二连接板(24)之间共同固定连接有引导长条块(25),所述引导长条块(25)内部开设有引导槽,所述引导槽用于与引导块(22)相作用。
5.根据权利要求1所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:所述喷淋机构包括进液管(26),所述进液管(26)固定连接在防护壳(1)的内部,所述进液管(26)的底端固定连通有喷淋板(27),所述喷淋板(27)位于两个转动网板(14)的正上方。
6.根据权利要求1所述的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机,其特征在于:所述防护壳(1)底部固定连接有收集壳(28),所述收集壳(28)大于搁置网板(6),所述收集壳(28)用于收集蚀刻液。
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