[发明专利]一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机

说明书

本发明公开了蚀刻机技术领域的一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机，包括防护壳，所述防护壳内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构，所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构；本发明通过在每次对光伏晶片进行双面蚀刻时，利用放置机构将光伏晶片稳定的支撑，并在光伏晶片一面蚀刻完成后，配合转换机构，使放置机构进行转动，放置机构先进行闭合，将光伏晶片进行夹持稳定，避免在转动过程中光伏晶片滑出，且在转换过后，转换机构使放置机构中部打开，避免放置机构干扰蚀刻液蚀刻光伏晶片，保证蚀刻液对光伏晶片的蚀刻效果，快速对光伏晶片双面进行蚀刻。

技术领域

本发明涉及蚀刻机技术领域，具体为一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机。

背景技术

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，经过不断改良和工艺设备发展，可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片、晶片以及零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。

现有技术在对光伏晶片进行湿蚀刻时，仅仅只能对光伏晶片的一面进行蚀刻，当需要对光伏晶片进行双面蚀刻时，需要先蚀刻一面再取出、放入蚀刻另一面，在此过程中，不仅降低的蚀刻的效率，且还会在一次蚀刻后，部分蚀刻液停留在光伏晶片的表面，在取出时，蚀刻液容易飞溅，降低蚀刻机的使用寿命，影响蚀刻的效果。

基于此，本发明设计了一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机，以解决上述背景技术中提出了现有技术在对光伏晶片进行湿蚀刻时，仅仅只能对光伏晶片的一面进行蚀刻，当需要对光伏晶片进行双面蚀刻时，需要先蚀刻一面再取出、放入蚀刻另一面，在此过程中，不仅降低的蚀刻的效率，且还会在一次蚀刻后，部分蚀刻液停留在光伏晶片的表面，在取出时，蚀刻液容易飞溅，降低蚀刻机的使用寿命的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新能源光伏晶片的高效蚀刻机，包括防护壳，所述防护壳内侧设有用于夹持放置光伏晶片的放置机构，所述放置机构左右两侧连接有用于驱动放置机构转动变换光伏晶片的转换机构，所述放置机构在转换机构驱动的同时发生上下的移动并使放置机构顶部的打开，所述防护壳顶部连接有用于对光伏晶片进行喷淋蚀刻液的喷淋机构，所述喷淋机构位于放置机构的正上方；

所述放置机构包括两个第一转轴，两个所述第一转轴分别转动连接在所述防护壳左右两侧壁上，两个所述第一转轴内端均固定连接有第一转板，两个所述第一转板内侧均开设有两个第一滑槽，每个所述第一滑槽内侧壁上均滑动连接有第一滑板，同水平两个所述第一滑板之间共同固定连接有搁置网板，每个所述第一滑槽内侧壁上均固定连接有强力弹簧，所述强力弹簧外端固定连接在第一滑板上；

所述转换机构包括第一电机，所述第一电机固定连接在防护壳的外侧壁上，所述第一电机的输出轴与第一转轴固定连接，每个所述第一滑板外端均固定连接有导向滑杆，所述防护壳左右内侧壁上均通过两个第一连杆固定连接有引导轨，所述导向滑杆位于引导轨的内侧，所述引导轨用于使两个搁置网板在转换位置的过程中闭合，两个所述搁置网板中部均开设有第一通槽，两个所述第一通槽内侧均转动连接有第一转杆，每个所述第一转杆外表面上均固定连接有转动网板，所述第一转板外侧壁上连接在转换两个搁置网板过程中使转动网板打开的转动机构；

所述转动机构包括四个第一齿轮，四个所述第一齿轮分别固定连接在四个所述第一转杆的外表面上，每个所述第一转板外侧壁上均固定连接有两个第一连接板，每个所述第一连接板外端均固定连接有第一齿条，所述第一齿条与第一齿轮相啮合；

两个所述搁置网板相对面均固定连接有防护板，所述防护板用于防止光伏晶片滑出；