[发明专利]一种树脂和含其的ArF干法光刻胶组合物在审
申请号: | 202111187548.8 | 申请日: | 2021-10-12 |
公开(公告)号: | CN115960298A | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 王溯;方书农;徐森;邹琴峰 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司;上海芯刻微材料技术有限责任公司 |
主分类号: | C08F220/18 | 分类号: | C08F220/18;C08F222/26;C08F232/08;G03F7/004 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 马续红;陈卓 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明公开了一种树脂和含其的ArF干法光刻胶。该树脂由如下以重量份数计的单体聚合得到:其由如下以重量份数计的单体聚合得到:40‑50份的单体A、0.5‑5份的单体B、0.25‑2.5份的单体C和0.25‑2.5份的单体D。含有本发明的树脂的光刻胶具有分辨率高、灵敏度高和线宽粗糙度低的优点。 |
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搜索关键词: | 一种 树脂 arf 光刻 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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