[发明专利]一种横向连续递进式气相沉积炉及其工作方法在审
申请号: | 202111175247.3 | 申请日: | 2021-10-09 |
公开(公告)号: | CN113913792A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 申富强;申富胜;申钰静 | 申请(专利权)人: | 上海骐碳复合材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/46 |
代理公司: | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人: | 汪发成 |
地址: | 201403 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种横向连续递进式气相沉积炉及其工作方法,涉及复合材料制造设备领域。本发明包括横向设置的炉体、安装于炉体外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴、套设于承载轴中部位置的感应线圈、推进机构、取下冷却机构;第一推拉机构和第二推拉机构的顶举头端部均设有与承载轴外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板。本发明能够使预制体连续性的完成准备、沉积和冷却动作后,由末端的取下冷却机构进行取出,完成由预制体至复合材料的制备过程,具有整体过程连续、递进、采用一个炉体即可完成,速度快,效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 横向 连续 递进 式气相 沉积 及其 工作 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的