[发明专利]一种横向连续递进式气相沉积炉及其工作方法

权利要求书

1.一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，包括：

横向设置的炉体(1)、安装于炉体(1)外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴(2)、套设于承载轴(2)中部位置的感应线圈(3)、位于炉体(1)外前端或后端用于对环装的预制体(A)从承载轴(2)上进行推进的推进机构(6)；

所述炉体(1)内位于炉体的推进方向由前至后依次形成准备区、沉积区、冷却区，所述炉体(1)的前后两端分别设有对开式的第一封闭门(101)和第二封闭门(102)。

2.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述感应线圈(3)采用由感应加热电源(301)驱动的中/高频型感应加热线圈，所述感应线圈(3)设置于炉体(1)内的炉壁内侧并与炉壁内表面形成间距，且感应线圈(3)内部依次设置有炉壁保温层(106)以及马弗层(105)，并且保温层与(106)与马弗层(105)之间设置有间距。

3.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述承载轴(2)为内中空且一端为密封的绝缘管状结构，所述承载轴(2)的另一端设置有带电磁阀(204)的通气管(203)，所述通气管(203)的一端侧部设置有通气口(205)，所述承载轴(2)上与感应线圈(3)相对应的位置环绕均布开设有出气孔(201)；所述承载轴(2)外表面横向设置有若干凸条(202)，所述凸条(202)对预制体(A)内侧壁与进行支撑；所述第二封闭门(102)的上下两部分分别开设有与通气管(203)相对应形成贴合密闭通孔的半圆开口(1021)。

4.据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)外部设置有与通气口(205)相匹配的伸缩式接气结构；所述伸缩式接气结构包括伸缩机构(8)以及位于伸缩机构(8)顶举头一端与通气口(205)相配合的带有密封圈的连接帽(801)，所述连接帽(801)上设置有第一通气连接管(802)。

5.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述推拉式夹持机构包括位于炉体(1)外前端或后端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第一推拉机构(4)，以及位于炉体(1)外后端或前端侧部位置的由固定架进行安装固定的至少两个第二推拉机构(5)；所述第一推拉机构(4)和第二推拉机构(5)均采用液压缸、气缸或伺服电动缸，所述第一推拉机构(4)和第二推拉机构(5)结构相同，且顶举头端部均设有与承载轴(2)外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板(401)，所述第一推拉机构(4)和第二推拉机构(5)的顶举杆表面以及第一夹持板(401)表面均设置有水冷保护套。

6.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述推进机构(6)包括与炉体(1)的前端或后端炉口位置相对的第一钵体型推移件(602)以及设置于第一钵体型推移件(602)后部的第三推拉机构(601)，所述第三推拉机构(601)均采用液压缸、气缸或伺服电动缸；所述第一钵体型推移件(602)与预制体(A)直径一致，移动过程中使第一钵体型推移件(602)边缘与预制体(A)的边缘相抵触；所述第一钵体型推移件(602)的长度大于第一夹持板(401)的长度。

7.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)外后端或前端用于对预制体(A)从承载轴(2)上进行取下的取下冷却机构(7)；取下冷却机构(7)包括与炉体(1)的后端或前端炉口位置相对的第二钵体型推移件(702)以及设置于第二钵体型推移件(702)后部的第四推拉机构(701)，所述第四推拉机构(701)均采用液压缸、气缸或伺服电动缸；所述第二钵体型推移件(702)上设置有与开口位置相配合的翻转式密封门(705)，所述第二钵体型推移件(702)的底部设置有通气端(706)，所述通气端(706)连接有第二通气连接管(707)。