[发明专利]一种具有高发射阈值的梯度涂层及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111156039.9 申请日: 2021-09-29
公开(公告)号: CN113930744A 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 刘文元;程军;柯昌凤;霍艳坤;陈昌华;孙钧 申请(专利权)人: 西北核技术研究所
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/50
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 王少文
地址: 710024 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及涂层制备技术领域,具体涉及一种具有高发射阈值的梯度涂层及其制备方法。解决了包裹单一碳化钛涂层的石墨易导致涂层被烧蚀、碳化钛涂层与石墨材料之间的热膨胀不匹配导致涂层在高温下极易脱落的技术问题。本发明一种具有高发射阈值的梯度涂层包括沉积在石墨基底表面的碳涂层以及叠层在碳涂层表面的多层第一复合涂层和沉积在最外层第一复合涂层表面的第二复合涂层,第一复合涂层成分包括硼化钛、碳化钛、碳化硼以及碳;第二复合涂层成分包括硼化钛、碳化钛、碳化硼。同时,本发明还提供了具有高发射阈值的梯度涂层的制备方法,采用化学气相沉积法制备得到性能优异的覆盖在石墨基底表面的梯度涂层。
搜索关键词: 一种 具有 发射 阈值 梯度 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
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