[发明专利]一种小尺寸高灵敏度高信噪比的MEMS硅麦克风在审
| 申请号： | 202111142264.7 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113905316A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 刘宝玉;田永超;赵首领;曾伍阳;申会文;杨勇 | 申请（专利权）人： | 泰芯微（重庆）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R3/02 |
| 代理公司： | 重庆启恒腾元专利代理事务所(普通合伙) 50232 | 代理人： | 万建 |
| 地址： | 402760 重庆市璧山*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小尺寸高灵敏度高信噪比的MEMS硅麦克风，涉及传音设备技术领域。本发明包括硅电路板和收音罩，收音罩罩壁内部开设有若干收音孔道，硅电路板与收音罩之间设有收音架，收音架的收音板与收音罩之间设有传音弹簧。本发明通过设置碗形收音罩，利用其外侧面的弧形结构，能够全方位地收集多处的声音信号，提高声音传播收集的灵敏度；其中在收音罩罩壁内部开设若干螺旋形收音孔道，能够将低频杂波进行缓冲处理，减少低频噪音；通过在收音罩和硅电路板内部设置收音架，利用若干收音板构成伞形结构，能够大范围接收声音信号并进行集中放大处理，提高灵敏度；同时利用传音弹簧能够将接收到的声音信号中的高频杂波过滤掉，减少高频噪音。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 灵敏度 高信噪 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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