[发明专利]一种包覆粉体物料的原子层沉积方法与装置

摘要

本发明涉及一种薄膜制备技术领域，具体涉及一种包覆粉体物料的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中，利用伞形分散装置，循环地将粉体材料在伞形面上均匀分散开，使粉体材料充分地暴露在反应气体环境中。该装置包括分散系统、真空系统、自动上料系统、供应系统、监测和控制系统、加热系统，其特征在于，分散系统主要包括伞形分散器、罐体、罐盖、提料螺杆、密封装置、驱动电机、振动装置。本发明的方法与装置可将粉体物料循环均匀地暴露在反应环境中，使得在每次沉积过程中粉体物料都得以被均匀包覆，有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，为粉体物料的原子层沉积工业化应用提供了新的方法。