[发明专利]体声波谐振器及其制备方法、滤波器有效
| 申请号： | 202111116757.3 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113810015B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 罗天成;蔡耀;赵坤丽;邹杨;曲远航;刘炎;孙成亮;孙博文 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/54;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及滤波器技术领域。该体声波谐振器包括具有空腔的衬底、设于衬底上的底电极、设于底电极上的压电层和设于压电层上的顶电极；空腔、底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域形成有效谐振区域；体声波谐振器还包括位于有效谐振区域之外且贯通压电层并延伸至衬底内的至少一个声波隔离孔，声波隔离孔与空腔连通。该体声波谐振器能够有效改善声波能量自有效谐振区域向非有效谐振区域泄漏，从而提高体声波谐振器的品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制备 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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