[发明专利]体声波谐振器及其制备方法、滤波器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括具有空腔的衬底、设于所述衬底上的底电极、设于所述底电极上的压电层和设于所述压电层上的顶电极；所述空腔、所述底电极、所述压电层和所述顶电极在层叠方向上的交叠区域形成有效谐振区域；

所述体声波谐振器还包括位于所述有效谐振区域之外且贯通所述压电层并延伸至所述衬底内的至少一个声波隔离孔，所述声波隔离孔与所述空腔连通；位于所述有效谐振区域内的所述底电极、所述压电层和所述顶电极共同形成压电叠层，所述体声波谐振器还包括位于所述空腔外周的至少一个支撑柱，所述支撑柱用于支撑所述压电叠层；所述压电叠层在所述衬底上的正投影的轮廓由直线和曲线围合形成，相邻的两条线之间的连接点为顶点，所述支撑柱设置于所述顶点处以支撑所述压电叠层。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声波隔离孔包括多个，多个所述声波隔离孔围设于所述有效谐振区域的外周。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声波隔离孔为弧形孔、圆孔或者矩形孔。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述支撑柱位于所述有效谐振区域的底电极的下方。

5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述支撑柱位于所述有效谐振区域的压电层的下方。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述支撑柱包括多个，多个所述支撑柱均匀分布于所述压电叠层的外周。

7.根据权利要求4至6任意一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述支撑柱的材料与所述衬底的材料或者所述底电极的材料相同。

8.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：

刻蚀衬底，以形成位于所述衬底内的凹槽和位于所述凹槽内的支撑柱，其中，所述支撑柱用于支撑压电叠层，所述压电叠层在所述衬底上的正投影的轮廓由直线和曲线围合形成，相邻的两条线之间的连接点为顶点，所述支撑柱设置于所述顶点处以支撑所述压电叠层；

在所述凹槽内填充牺牲材料，以形成牺牲层；

在所述衬底上依次形成覆盖所述牺牲层和部分所述衬底的底电极、覆盖所述底电极和露出的所述衬底的压电层以及覆盖部分所述压电层的顶电极；其中，所述牺牲层、所述底电极、所述压电层和所述顶电极在层叠方向上的交叠区域形成有效谐振区域，位于所述有效谐振区域内的所述底电极、所述压电层和所述顶电极共同形成压电叠层；

在所述有效谐振区域之外的区域，刻蚀所述压电层以形成露出所述底电极的电极引出孔、刻蚀所述压电层和部分所述衬底以形成声波隔离孔，所述声波隔离孔与所述凹槽连通；

释放所述牺牲层以在所述衬底内形成空腔；

在所述电极引出孔内沉积金属以将所述底电极引出所述压电层之外。

9.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1至7中任意一项所述的体声波谐振器。