[发明专利]一种用于金刚石的生长装置及方法在审
| 申请号： | 202111106745.2 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113818004A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈海勇;陈熙野;姜志刚 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/455;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 朱广 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及金刚石生产技术领域，尤其涉及一种用于金刚石的生长装置，包括十字形管件，所述十字形管件的外侧设置有加热套管，且十字形管件的内部设置有金刚石沉积衬底，还包括：混气机构，所述混气机构和十字形管件之间通过细管相连通；以及放电机构，所述放电机构用于加热混气机构导出的气流。本发明有效实现可在大气压条件下进行金刚石的快速生长，气流速度越快生长速度越高，使用效果更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚石 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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