[发明专利]一种化学气相沉积设备的清洁装置

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积设备的清洁装置，涉及沉积设备清洁技术领域，包括沉积设备本体和门体，所述沉积设备本体的正面活动安装有门体，所述沉积设备本体内腔的一侧设置有清洁装置，所述清洁装置内腔的顶部设置有压缩机构，所述清洁装置的内腔设置有调节机构。本发明通过一号汽缸和二号汽缸的配合，带动清洁刷在设备内腔的底部移动，同时通过电机带动清洁刷清理设备内腔的底部，再通过导管和吸力泵的配合，将灰尘和杂质吸入清理箱的内腔，保证设备内腔的清洁性，避免了现有的沉积设备在使用之后，其内腔的底部会存留较多的灰尘，清洁较为麻烦，导致降低设备的使用效率的问题，使得快速清洁设备内腔，提高设备的使用效率。