[发明专利]曝光平台的支撑装置在审
| 申请号： | 202111077547.8 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113795081A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 余燕青;杜志航 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 许彬 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及曝光平台的支撑装置，具有上铬板固定框及下铬板固定框，以及还包括有给予上铬板固定框安装支持的支撑立柱，上铬板固定框在支撑立柱上通过滑动块引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动，滑动块与上铬板固定框之间通过浮动块连接，该浮动块与滑动块在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量，使上铬板固定框和下铬板固定框构建真空时，上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。本发明可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移，继续保持精确的对位状态，提升曝光生产效率及质量，加工精度更高。结构简单，投资成本低，符合产业利用。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 平台 支撑 装置 | ||
【主权项】：
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