[发明专利]曝光平台的支撑装置

权利要求书

1.曝光平台的支撑装置，具有上铬板固定框（1）及下铬板固定框（2），其特征在于，还包括有给予上铬板固定框（1）安装支持的支撑立柱（3），上铬板固定框（1）在支撑立柱（3）上通过滑动块（4）引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动，滑动块（4）与上铬板固定框（1）之间通过浮动块（5）连接，该浮动块（5）与滑动块（4）在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量，使上铬板固定框（1）和下铬板固定框（2）构建真空时，上铬板固定框（1）跟随抽真空状态自适向下铬板固定框（2）移动。

2.根据权利要求1所述的曝光平台的支撑装置，其特征在于，所述上铬板固定框（1）和下铬板固定框（2）构建真空基于上玻璃（11）、下玻璃（21）及密封胶条（22）来实现，该上玻璃（11）设置在上铬板固定框（1）上，下玻璃（21）和密封胶条（22）则设置在下铬板固定框（2）上；上玻璃（11）和下玻璃（21）相互平行设置，待曝光的柔性基板定位在上玻璃（11）和下玻璃（21）之间，且在真空状态下进行曝光；所述密封胶条（22）分布在下玻璃（21）的周边，且密封胶条（22）的上侧面高于下玻璃（21）的上侧面，密封胶条（22）支顶上铬板固定框（1）并协助上铬板固定框（1）跟随抽真空状态自适向下铬板固定框（2）移动。

3.根据权利要求1或2所述的曝光平台的支撑装置，其特征在于，所述上铬板固定框（1）是矩形，上铬板固定框（1）的四个角方位分别对应连接浮动块（5），四个浮动块（5）中有一个是直接固定连接上铬板固定框（1），另外三个浮动块（5）通过调节块（6）连接上铬板固定框（1），调节块（6）在空间直角坐标系中至少可以沿其一轴向调节位移。

4.根据权利要求1所述的曝光平台的支撑装置，其特征在于，所述的滑动块（4）通过电机丝杆机构（7）驱动，实现滑动块（4）在支撑立柱（3）上沿空间直角坐标系的Z轴移动。

5.根据权利要求1所述的曝光平台的支撑装置，其特征在于，所述支撑立柱（3）围绕上铬板固定框（1）的外围间隔布置，且所有支撑立柱（3）安装在同一底板（8）上。