[发明专利]掩膜版组件及其制造方法、显示基板、显示装置在审
| 申请号： | 202111065630.3 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113789497A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊;李彦松 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种掩膜版组件及其制造方法、显示基板、显示装置，掩膜版组件包括：掩膜框架，包括内侧凹槽区域和外侧区域，所述外侧区域具有第一厚度，所述内侧凹槽区域具有第二厚度；掩膜版，固定于所述掩膜框架的所述内侧凹槽区域，具有第三厚度，所述掩膜版在所述掩膜框架上的正投影覆盖所述内侧凹槽区域；其中，所述第一厚度大于或等于所述第二厚度与所述第三厚度之和；定位掩膜版，固定于所述掩膜框架的所述外侧区域，并设置有定位孔，所述定位孔用于将所述掩膜版与所述显示基板进行对准。根据本公开，能够减小掩膜版拉伸的位置偏移和提高定位孔的对准精度，减小掩膜版的开口设计容差，有利于实现显示装置的窄边设计。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 组件 及其 制造 方法 显示 显示装置 | ||
【主权项】：
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