[发明专利]一种柔性等离子体源特性分析系统在审
| 申请号： | 202111054712.8 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113747645A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 蒋睿珈;刘诗筠 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京盛询知识产权代理有限公司 11901 | 代理人： | 方亚兵 |
| 地址： | 211816 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种柔性等离子体源特性分析系统，包括柔性等离子体源放电子系统和放电参数采集检测子系统，柔性等离子体源放电子系统包括脉冲电源和柔性等离子体源，脉冲电源和柔性等离子体源电性连接，放电参数采集检测子系统包括电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部，电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部分别与柔性等离子体源放电子系统连接。本发明的柔性等离子体源特性分析系统能够准确高效的分析不同激励源下柔性CDBD的放电特性、光学特性、光谱特性以及温度特性，得到放电功率、传输电荷、能量利用效率、放电产生的主要粒子及反应器表面温度等参数，以及随外加电压以及放电频率等电源参数的演变规律。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 等离子体 特性 分析 系统 | ||
【主权项】：
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