[发明专利]一种柔性等离子体源特性分析系统

权利要求书

1.一种柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：包括柔性等离子体源放电子系统和放电参数采集检测子系统，

所述柔性等离子体源放电子系统包括脉冲电源和柔性等离子体源，所述脉冲电源和所述柔性等离子体源电性连接，

所述放电参数采集检测子系统包括电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部，所述电气特性分析部、所述光学特性分析部和所述温度特性分析部分别与所述柔性等离子体源放电子系统连接。

2.根据权利要求1所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述脉冲电源采用微秒脉冲电源或微秒/纳秒脉冲电源。

3.根据权利要求1所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述脉冲电源的微秒输出频率0.9kHz～1.1kHz，电压幅值0～12kV，上升/下降沿均为7.5μs，脉宽设置为6.5μs。

4.根据权利要求1所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述脉冲电源包括供电电源、第一升压模块、第二升压模块、IGBT、变压器和脉冲发生器，所述供电电源通过所述第一升压模块分别与所述第二升压模块和所述IGBT连接，所述第二升压模块与所述变压器串联，所述IGBT与所述脉冲发生器串联，其中，所述供电电源采用储能锂电池，所述变压器的匝数比为50:2500。

5.根据权利要求1所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述柔性等离子体源包括高压电极、地电极和柔性绝缘介质，所述高压电极和所述地电极交错排列在所述柔性绝缘介质中。

6.根据权利要求2所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述电气特性分析部包括示波器、高压探头、差分探头、罗氏线圈和测量电容，所述示波器分别与所述高压探头、所述差分探头、所述罗氏线圈连接，所述罗氏线圈、所述测量电容串联在所述脉冲电源和所述柔性等离子体源之间，所述差分探头与所述测量电容并联。

7.根据权利要求1或6所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述光学特性分析部采用光谱仪和发光图像采集装置，所述光谱仪的光纤探头固定于柔性等离子体源的正前方且距放电区域1cm，所述光纤探头与计算机电性连接，所述计算机用于存储所述柔性等离子体源的光谱数据，所述计算机包括电磁屏蔽装置；

所述发光图像采集装置设置在所述等离子体源的正面，且与所述柔性等离子体源之间设置有图像采集距离。

8.根据权利要求1所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述温度特性分析部包括红外热成像仪，所述红外热成像仪设置于所述柔性等离子体源的正面，且与所述柔性等离子体源之间设置有温度采集距离。

9.根据权利要求7所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述发光图像采集装置采用数码相机。

10.根据权利要求6所述的柔性等离子体源特性分析系统，其特征在于：所述示波器采用数字示波器。